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真空镀膜技术论文文献综述

更新时间:2016-11-7:  来源:毕业论文

真空镀膜技术论文文献综述 真空镀膜技术在光学领域的应用近年来是发展得非常快的。在各种光学零件的光学镀
膜方面,主要是利用传统的电阻蒸发、电子束蒸发、低压等离子辅助镀膜、磁控溅射的方
法来制备各种具有光学特性的镜片和棱镜,在有机或无机材料上镀宽带增透膜、红外膜、
激光膜、冷光反射膜、热保护滤光片、宽带干涉光片、硬质增透膜等光学薄膜。平面玻璃
镀膜也是大面积光学镀膜应用的一种,它主要是利用高速磁控溅射技术在大面积的玻璃表
面镀制膜层厚度均匀,并且具有各种光学特性的薄膜,如高透明度、色泽中性、低辐射率
薄膜:低辐射率与太阳能控制的组合特性薄膜;具有各种透光特性和反射不同色彩的阳光保护膜;用于汽车玻璃的透明、导电、防热辐射膜;用于TFT、PDP平板显示技术的透明导电膜和防护膜:用于光通讯方面的DWDM特性膜,用于背投电视的反射成像膜层等。完成以上各种光学薄膜制备的设备是多种多样的,主要是箱式真空镀膜机、隧道式连续磁控溅射台等。目前国内外这类设备的主要生产厂家有:本文来自六/维(论+文?网,毕业论文 www.lwfree.cn

 表1 镀膜机生产国外主要厂家
日本SHrNCRON
(新科龙) 日本OPTORUN(先驰) 德国Leyboid Optic(莱宝光学) 韩国Hani(韩一)
BMC•70o~l80系列箱式真空镀膜机
 NBPF-2型箱式真空镀膜机(DWDM) A904--A1504 系列箱式真空镀膜机 HVC.900系列箱式真空镀膜机
SMC.1100型箱式真空镀膜机(D、胁M)
 o矸C.1lo0型箱式真空镀膜机 APS9O4~1504系列箱式真空镀膜机 
CES系列连续式真空镀膜机  SYRUS、SYRUS.系列箱式真空镀膜机 

表2 镀膜机生产国内主要厂家:
表2 国内主要厂家:
固投南光有限公司 北京北仪 上海曙光机器厂 广东振华
ZZ5O0--1250系列箱式真空镀膜机 DM 系列箱式真空钢族机 KD 系列箱式真空镀膜机 ZCK系列箱式真空镀膜机
ZZS500--2200系列箱式真空镀膜机 ZZSX系列箱式真空镀膜机  GX系列箱式真空镀膜机

与国外厂家同类设备相比,我国生产的设备主要的差距在于:
1.设备的自动化程度低,光学膜镀层控制精度低,达不到自动控制的要求;
2.设备的可靠性较差, 电气控制以手动为主,全自动控制较少;
3.设备的研发落后于镀膜工艺技术的发展和市场的需求。
1.4.3 在半导体器件、大规模集成电路制造的应用领域
  在电子学、半导体器件、大规模集成电路制造上,真空镀膜技术利用电阻蒸发和电子
束蒸发主要用于基片的金属化、混合电路与无源电路组件的制造,利用磁控溅射技术制作
半导体的单层或多层金属化膜、钝化膜与绝缘膜、透明导电膜与用于电子学的ITO膜、RC
网络与微波电路、大面积显示膜、大功率整流器件、继电器的电接触组件与控制电路元件
金属化膜等电学膜。
表3 电子束蒸发设备国外主要厂家:
美国
APPLIDM
ATERL LS
公司
 美国
NOVELLUE
公司 美国
VARIAN
公司 美国
MATERIAL
RESEARCH
CORPORATION
公司 日本
ULVAC
公司

   表4 磁控溅射系统国内主要厂家:
国投南光有限公司
 沈阳科仪 北京北仪创新
JC500-2/D
磁控溅射系统
 JGP24磁控溅射系统 JDS.800磁控溅射系统
JC600-2/D
磁控溅射系统
 JGP35磁控溅射系统 J]f1 700太阳能热管磁控溅射系统
JC80c啪
磁控溅射系统
 JGP600磁控溅射系统 3578

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