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CVD金刚石薄膜制备及其结构研究

时间:2019-01-19 20:52来源:毕业论文
利用热丝化学气相沉积法(HFCVD)在硅衬底上制备了两种不同硼掺杂浓度的金刚石薄膜,并通过沉积Ag叉指电极分别制备出两种不同硼掺杂浓度的金刚石紫外探测器。实验通过在氩气、

摘要本课题利用热丝化学气相沉积法(HFCVD)在硅衬底上制备了两种不同硼掺杂浓度的金刚石薄膜,并通过沉积Ag叉指电极分别制备出两种不同硼掺杂浓度的金刚石紫外探测器。实验通过在氩气、700℃下退火1小时来实现探测器的欧姆接触,并对欧姆接触的探测器进行明暗电流-电压曲线测量和紫外光谱响应测试。测试结果表明,探测器的明暗电流电压曲线没有产生明显差异,探测器的响应度并未随硼掺杂浓度增加而增大,低掺杂浓度的金刚石薄膜制备出的紫外探测器在250nm处产生光响应,但响应强度较小,如何进一步提高特定波长下的响应度仍有待探究。32980
关键词  硼掺杂 金刚石  热丝化学气相沉积  光电探测器  紫外光谱响应
毕业论文设计说明书外文摘要
Title  CVD Preparation and Structure Characterization of Diamond Films                                                      
Abstract
We prepared two boron-doped diamond films with different concentrations on a silicon substrate by hot filament chemical vapor deposition (HFCVD).Two diamond UV detectors were derived by depositing Ag interdigital electrodes on these two boron-doped diamond films respectively, named D1,D2. The ohmic contact of the detector was realized by annealing these two devices in Ar at 700℃ for 1 hour. The I-V curves of the detectors under dark and UV illumination were measured respectively as well as the UV responsivity spectra. The results indicated that the I-V curves of the detectors under dark and UV illumination didn’t show significant differences, and the responsivity of the detectors didn’t increased with the boron dopant concentration. Diamond UV detector with a low dopant concentration show a slight responsivity at 250 nm illumination, how to further improve the responsivity under a specific wavelength is yet to be explored. 源自$六l维,论:文w网)加7位QQ3249^114 www.lwfree.cn
Keywords  boron-doped  diamond  HFCVD  photodetectors  UV responsivity
 目   次
1  绪论    1
1.1 金刚石简介    1
1.2 金刚石薄膜的性能及应用    2
1.2.1 金刚石薄膜的力学、声学性能及其应用    3
1.2.2 金刚石薄膜的热学性能及其应用    3
1.2.3金刚石薄膜的光学性能及其应用    3
1.2.4金刚石薄膜的电学性能及其应用    3
1.3  CVD金刚石薄膜的制备技术    3
1.3.1 热丝辅助化学气相沉积法(HFCVD)    3
1.3.2 微波等离子CVD    3
1.3.3 等离子体射流(plasma jet)法    3
1.4   金刚石薄膜在光电探测领域的研究进展    3
1.4.1 金刚石薄膜用作光电探测器的优势    3
1.4.2金刚石薄膜紫外探测器性能提高方向    3
1.4.3 金刚石薄膜紫外探测器的不足    3
2  实验    3
2.1  硼掺杂纳米金刚石薄膜的制备    3
2.1.1 实验设备    3
2.1.2 薄膜预形核    3
2.1.3 薄膜沉积实验    3
2.2  金刚石紫外探测器的制备    3
2.2.1 电极制备    3
2.2.2 器件后处理    3
2.3  实验结果表征    3
2.3.1 扫描电子显微镜(SEM    3
2.3.2 光学显微镜    3
2.3.3 拉曼光谱(Raman Spectroscopy)    3 CVD金刚石薄膜制备及其结构研究:http://www.lwfree.cn/cailiao/20190119/29798.html
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