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MEMS技术基于电润湿效应的液滴振动研究

时间:2018-12-23 20:21来源:毕业论文
应用MEMS技术制作了实验用的芯片,然后利用CCD摄像机实验平台研究了芯片上液滴的电润湿振动特性以及液滴的蒸发特性,从侧面记录了液滴的振动以及液滴的蒸发行为

摘要本文研究交流电润湿效应下液滴的振动以及液滴振动对液滴蒸发的影响。本文采用理论分析与实验研究结合的方法,分析了液滴振动的共振频率和液滴蒸发的理论方程,应用MEMS技术制作了实验用的芯片,然后利用CCD摄像机实验平台研究了芯片上液滴的电润湿振动特性以及液滴的蒸发特性,从侧面记录了液滴的振动以及液滴的蒸发行为。本论文着重研究了在交流电润湿作用情况下液滴振动的全过程,随后观察了没有施加电场情况下的液滴在亲水表面及疏水表面上的蒸发并对施加交流电场后液滴的蒸发特征进行了探索。31882
关键词  电润湿  液滴振动  液滴蒸发
毕业论文设计说明书外文摘要
Title   EXPERIMENTAL STUDY OF DROPLET OSCILLATION   UNDER AC ELECTROWETTING                       
Abstract
This paper studies the vibration of the droplet under alternating current (ac) wetting  and the influence of droplet vibration on droplet evaporation.In this paper, by using the combined method of theoretical analysis and experimental research, analyzing the droplet vibration resonance frequency and the theoretical equation of droplet evaporation。Electrowetting chip is prepared by using MEMS technology。This paper emphatically studied the whole process of the droplet vibration under the condition of alternating  current (ac) wetting effect,and then observed the droplets evaporation without applying an electric field on the surface hydrophilic and hydrophobic surface by using CCD camera and the droplet evaporation characteristics under an alternating electric field。 源自$六l维,论:文w网)加7位QQ3249^114 www.lwfree.cn
Keywords  electrowetting, droplet oscillation,droplet evaporation
目   次
1  引言    1
1.1  本文背景    1
1.2  国内外发展综述    1
1.2.1  液滴的电润湿    1
1.2.2  液滴的电润湿效应    2
1.2.3  电润湿的应用    3
1.2.4  水滴蒸发的应用    7
1.3  本文研究内容    8
2  实验系统及处理方法    9
2.1  实验装置及系统    9
2.1.1  电润湿实验系统    9
2.1.2  实验装置及参数设置    9
2.2  实验所需芯片    10
2.2.1  MEMS加工工艺    10
2.2.2  MEMS芯片制备    10
2.3  实验测量方法及数据处理    10
2.3.1  实验测量方法    10
2.3.2  数据处理    11
2.3  本章小结    11
3  交流电润湿作用下的液滴振动研究    12
3.1  液滴的交流电润湿效应    12
3.1.1  液滴的受迫振动研究    12
3.2  液滴的共振    12
3.2.1  不同频率下的液滴振动形态    13
3.2.2  交流电压对液滴振荡的影响    15
3.3  本章小结    15
4  电润湿作用下的液滴蒸发    16
4.1  蒸发机理    16
4.2  未施加电压时液滴的蒸发    18 源自$六l维,论:文w网)加7位QQ3249^114 www.lwfree.cn
4.2.1  亲水表面上液滴的蒸发    18
4.2.2  疏水表面液滴蒸发的实验    19
4.2.3  施加油膜的液滴蒸发    19
4.3  交流电润湿作用下液滴的蒸发    20
4.3.1  交流电润湿下液体的蒸发    20 MEMS技术基于电润湿效应的液滴振动研究:http://www.lwfree.cn/jixie/20181223/28183.html
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